簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Shyan-Kay Jou".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="濕式蝕刻"


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    一維矽奈米結構於氫氣感測器之應用
    • 電子工程系 /100/ 碩士
    • 研究生: 鄭憲隆 指導教授: 黃柏仁
    •   ㄧ維奈米結構有許多種,而其製作方式與應用方面亦有所不同,例如於太陽能電池上將使用其相當高的抗反射特性,用於電子場發射元件主要將強調其奈米結構等級的線端可以使其屏蔽效應明顯改善,而應用於感測器則有…
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    低溫鋁擴散進入非晶矽基體形成P型層的技術及擴散阻隔層的探討
    • 化學工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 吳明翰 指導教授: 洪儒生
    • 本論文主要探討如何藉由擴散阻隔層的加入適時阻擋低溫下鋁擴散進入非晶矽/單晶矽異質接合界面,以求得p型背電場形成之同時亦保有高異質接合鈍化效果之目的。我們選用兩種擴散阻隔層:第一種是以5奈米厚的氧化銦…
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